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真空退火爐中常用的幾種真空系統基本參數

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真空退火爐中常用的幾種真空系統基本參數

發布日期:2017-08-03 作者: 點擊:

真空退火爐品種多,對真空系統的要求不一樣。就真空度而言,有低真空、中真空和高真空系統。下面介紹幾種常用的真空系統。

1.低真空系統

它適用于真空度在1333~2Pa范圍的真空熱處理爐,如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的系統。

2.中真空系統

它適用于真空度在1.333~3×10Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛,其通常有兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵,主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。

3.高真空系統

它適用于真空度在1.333×1O~6.6×10Pa范圍的真空熱處理爐,如真空退火爐、真空釬焊爐。其通常有三級真空泵機組組成,主泵通常采用油擴散泵、離子泵,初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵,前級泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。

真空系統的基本參數

真空熱處理爐的真空系統主要參數有極限真空度、工作真空度、抽氣時間、抽氣速率、漏氣率(壓升率)。

極限真空度真空爐在空爐、冷態下所能達到的最高真空度稱為極限真空度。極限真空度是考核真空爐各零部件的加工和裝配質量、真空機組的抽氣能力與極限真空、爐體的密封與漏氣和真空衛生情況的重要指標。通常,真空爐的極限真空度應低于主泵一個數量級左右。

真空退火爐


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